儀器概述
HM-400氦質譜檢測儀是一款高靈敏度全自動氦質譜檢漏儀器，它由質譜儀、分子泵、機械泵、閥體、控制及驅動模塊組成，可適用于正負壓檢漏場合，也可以和專用機臺共用形成自動化檢漏系統。
性能規格
該技術具有三大顯著優勢：檢測靈敏度更高、響應速度更快、適用范圍更廣
支持正壓檢漏，負壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果
優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應
高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦
支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底
機器卓越的性能支持7*24小時長時間在線測試
機器卓越的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
應用場景
應用行業：半導體、新能源、醫療、航空航天、能源化工等行業。科研院所、航空航天、動力鋰電池、閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
名稱 | 氦質譜檢測儀 |
規格型號 | HM-400 |
尺寸 | L760*W370*H1036mm |
電壓及功耗 | 220V10A,50Hz |
重量 | 80kg |
工作壓力 | 40Pa~1500Pa |
顯示 | 觸摸彩屏 |
性能指標 | |
最小可見漏率（負壓模式） | 5E-13Pa*m3/s |
最小可見漏率（吸槍模式） | 1E-8Pa*m3/s |
漏率顯示范圍 | 1E-3~1E-13Pa*m3/s |
進氣口壓力 | 粗檢：1500Pa |
中檢：200Pa | |
精檢：40Pa | |
啟動時間 | ≤3min |
響應時間 | ≤1s |
粗抽泵抽速 | 16m3/h(4.4L/s) |
海瑞思公眾號
18664582139
深圳市寶安區松崗松白路7004號漢海達科技園B棟
測試儀器
